非接触式载流子参数测试设备

该设备采用脉冲激光激发载流子，微波探测电信号，以非破坏的方式测试晶圆的载流子寿命等参数，并对高电阻率和宽禁带材料（如GaN、Ga₂O₃、SiC、金刚石、CZT等）有针对性的优化。

可配置功能：

1. 激发光源、微波源、非接触探头等可以根据样品和材料特性进行定制。
2. 可升级电阻率非接触测试功能。
3. 可配置非接触光谱测试模块，测试特定材料载流子浓度。
4. 可升级mapping功能，适用于2-12寸晶圆和非规则样品，反映缺陷分布。
5. 软件可选功能：测试数据处理、拟合分析及统计，生成检测报告等。
6. 自动化测试配置：扫描、进样和数据处理等可升级为自动化方案，适用于产线快速检测。