TOF法载流子特性测试系统

 该设备通过脉冲激光在样品中激发光生载流子，测试光生载流子在一定距离内的飞行时间，可在较低偏置电压和无磁场的条件下获得材料的载流子迁移率、寿命等参数，尤其适用于高电阻率或宽禁带材料（如GaN、Ga₂O₃、SiC、金刚石、CZT等）的测试。

可配置功能：

1. 光源、电极、探针等可以根据样品和材料特性进行定制：光源可采用紫外至红外的多种波长，单波长至可调谐宽谱多种光谱宽度，光脉冲宽度可选fs-ns，激光光强可调。
2. 可升级电阻率、漏电流，电阻率最大1x10⁹Ω·cm，漏电流最小1nA。通过高阻测试模块可进一步扩展测试范围，电阻率最高可达1x10¹²Ω·cm，漏电流最小1pA。
3. 可升级载流子浓度测试功能。
4. 可升级为激光共聚焦光路，增加显微成像功能和表面缺陷、反射率检测等功能。
5. 可兼容测试IV曲线、瞬态光电流、瞬态光电压等。
6. 可升级mapping功能，可选样品台移动和激光振镜扫描两种方案。适用于2-12寸晶圆和非规则样品，反映缺陷分布。样品台可配置真空吸附、高低温、气体氛围等功能；
7. 软件可选功能：测试数据处理、拟合分析及统计，生成检测报告等。
8. 自动化测试配置：调焦、扫描和数据处理等过程可升级为自动化方案。